ASML是唯一一家有能力制造EUV设备的厂商，过去几年里，每年可生产约40台这样的设备。今年2月，该公司财务长Roger Dassen在接受采访时表示，计划2024年把产量提高到约60台，而一台EUV光刻机的价格高达2.3亿美元，这还只是新设备初代版本的价格，之后的更新版本会更贵。
01、台积电受益颇多
多年来，台积电是EUV设备的最大买家，也因为有了这些设备，使其不断巩固着晶圆代工龙头一哥的地位，特别是在先进制程方面，台积电积累了丰富的技术、工艺和经验，使其能够越来越从容、灵活地使用EUV光刻机，以提高生产率，并尽量降低使用成本。2019年，台积电拥有全球42%的EUV光刻机安装量，2020年则增加到了50%。
近几年，虽然三星和英特尔不断增加EUV设备购买量，台积电安装量的全球占比依然在上升，目前约为56%，到2024年底，该晶圆代工龙头的EUV光刻机数量有望比2019年增长10倍。现在，台积电采用EUV设备生产的晶圆数量是2019年的30倍，与增加10倍的光刻机数量相比，其产量增长更为可观，这凸显出该龙头厂商在经过多年的使用和积累后，能够不断提高EUV的生产效率、缩短维修时间并减少总体停机时间。
EUV光刻系统的耗电量是非常大的，台积电通过未公开的节能技术，成功地将EUV光刻机的功耗降低了24%，该公司计划在2030年前将每台EUV设备的单位晶圆能效提高1.5倍。
02、越来越贵，台积电也发愁
虽然EUV光刻机是个好东西，特别是对于7nm以下的先进制程来说，它是不可或缺的，但是，随着系统越来越复杂，这些设备的价格越来越昂贵，即使是台积电这样的龙头企业，也不能再像以前那样任意购买了。
最近，台积电高级副总裁Kevin Zhang在阿姆斯特丹的一个技术研讨会上表示，新的high-NA（高数值孔径）EUV光刻机成本非常高，短期内不考虑采用。ASML推出的这款最新EUV光刻机可以8nm的分辨率刻印集成电路，然而，这一堪称“人类科技巅峰”的设备，每台耗资高达3.5亿欧元(约3.8亿美元)，重量则相当于两架空客A320，运输和装配非常复杂。
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