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EUV光刻机变数陡增

放大字体  缩小字体 发布日期:2024-05-27  浏览次数:1
核心提示:ASML是唯一一家有能力制造EUV设备的厂商,过去几年里,每年可生产约40台这样的设备。今年2月,该公司财务长Roger Dassen在接受采

ASML是唯一一家有能力制造EUV设备的厂商,过去几年里,每年可生产约40台这样的设备。今年2月,该公司财务长Roger Dassen在接受采访时表示,计划2024年把产量提高到约60台,而一台EUV光刻机的价格高达2.3亿美元,这还只是新设备初代版本的价格,之后的更新版本会更贵。

 01、台积电受益颇多

多年来,台积电是EUV设备的最大买家,也因为有了这些设备,使其不断巩固着晶圆代工龙头一哥的地位,特别是在先进制程方面,台积电积累了丰富的技术、工艺和经验,使其能够越来越从容、灵活地使用EUV光刻机,以提高生产率,并尽量降低使用成本。2019年,台积电拥有全球42%的EUV光刻机安装量,2020年则增加到了50%。

近几年,虽然三星和英特尔不断增加EUV设备购买量,台积电安装量的全球占比依然在上升,目前约为56%,到2024年底,该晶圆代工龙头的EUV光刻机数量有望比2019年增长10倍。现在,台积电采用EUV设备生产的晶圆数量是2019年的30倍,与增加10倍的光刻机数量相比,其产量增长更为可观,这凸显出该龙头厂商在经过多年的使用和积累后,能够不断提高EUV的生产效率、缩短维修时间并减少总体停机时间。

EUV光刻系统的耗电量是非常大的,台积电通过未公开的节能技术,成功地将EUV光刻机的功耗降低了24%,该公司计划在2030年前将每台EUV设备的单位晶圆能效提高1.5倍。

 02、越来越贵,台积电也发愁

虽然EUV光刻机是个好东西,特别是对于7nm以下的先进制程来说,它是不可或缺的,但是,随着系统越来越复杂,这些设备的价格越来越昂贵,即使是台积电这样的龙头企业,也不能再像以前那样任意购买了。

最近,台积电高级副总裁Kevin Zhang在阿姆斯特丹的一个技术研讨会上表示,新的high-NA(高数值孔径)EUV光刻机成本非常高,短期内不考虑采用。ASML推出的这款最新EUV光刻机可以8nm的分辨率刻印集成电路,然而,这一堪称“人类科技巅峰”的设备,每台耗资高达3.5亿欧元(约3.8亿美元),重量则相当于两架空客A320,运输和装配非常复杂。

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